美國(guó)ALICAT 21系列標(biāo)準(zhǔn)型質(zhì)量流量控制器,采用內(nèi)部補(bǔ)償型層流壓差技術(shù),使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運(yùn)動(dòng)。內(nèi)置的絕壓和溫度傳感器充分補(bǔ)償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異,并對(duì)用戶標(biāo)準(zhǔn)工況進(jìn)行修正。具有NIST可溯源校準(zhǔn)證書。
可用于快速精確地測(cè)量并控制過程氣體的質(zhì)量流量、體積流量、壓力,并顯示氣體溫度,適用于多種流量測(cè)控場(chǎng)合。設(shè)備采用快速穩(wěn)定的優(yōu)質(zhì)電磁閥以及優(yōu)化的PID調(diào)校,可達(dá)到優(yōu)于100 ms的控制速度,并保持極佳穩(wěn)定性,并有超低壓損產(chǎn)品可供您選擇。
● 數(shù)字化產(chǎn)品
● 多參數(shù)顯示和輸出:溫度、壓力、流量等
● 多參數(shù)控制,如體積流量、質(zhì)量流量和壓力
● 標(biāo)配三種控制方式:數(shù)字、模擬和本地面板
● 可選高精度:優(yōu)于0.5%讀數(shù)
● 量程可控比寬,0.01~100%滿量程
● 響應(yīng)時(shí)間快,優(yōu)于30 ms
● 內(nèi)置98種氣體
● 可現(xiàn)場(chǎng)編輯混合氣體(最多5種成分),并最多存儲(chǔ)20種混合氣
量程為0.5 SCCM -6000 SLPM,
其中10 SCCM - 20 SLPM量程段,下述指標(biāo)升級(jí):
質(zhì)量流量普通精度 ± 0.6% 讀數(shù)或± 0.1% 滿量程(取最大值)
質(zhì)量流量高精度 ± 0.5% 讀數(shù)或± 0.1% 滿量程(取最大值)
重復(fù)性 ±(0.1% 讀數(shù) + 0.02% 滿量程)
質(zhì)量流量零點(diǎn)漂移 ± 0.01%滿量程/ ℃(從25℃開始)
± 0.01%滿量程/ Atm(從校準(zhǔn)壓力開始)
質(zhì)量流量量程漂移 ± 0.01%讀數(shù)/ ℃(從25℃開始)
± 0.1 %讀數(shù)/ Atm(從校準(zhǔn)壓力開始)
技術(shù)指標(biāo)
介質(zhì)要求 非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體
介質(zhì)種類 內(nèi)置了98種氣體,請(qǐng)參考?xì)怏w兼容表
一臺(tái)設(shè)備內(nèi)置所有氣體,用戶可現(xiàn)場(chǎng)選擇
量 程 從0-0.5 SCCM 到 0-6000 SLPM
量程可控比(穩(wěn)態(tài)) 0.01~100%滿量程
最大顯示流量 128 %滿量程
最大可控流量 102.4 %滿量程
屏幕刷新頻率 10Hz
數(shù)字輸入/輸出信號(hào) RS232、RS485、Modbus RTU(RS232/RS485)、Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus
模擬輸入/輸出信號(hào) 0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA
可選第二路模擬輸出 質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度
模擬信號(hào)精度 在基礎(chǔ)誤差上額外增加±0.1%滿量程的誤差